三氟化氮等产品等待发运。中船特气供图
河北经济日报记者 刘朋朋
近日，邯郸市肥乡区，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司（以下简称“中船特气”）的运输场地一派繁忙，管束式集装箱整齐码放，等待发运。里面充装的是一种特殊的气体——电子特气。
什么是电子特气？
电子特气是集成电路、显示面板等行业的关键材料，被称为“芯片血液”，光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积……几乎每一个工艺环节都离不开它。小到手机电脑的生产，大到高铁火箭的制造，都有电子特气的影子。
中船特气打破国外技术垄断，深耕电子特气领域，目前拳头产品高纯三氟化氮、高纯六氟化钨产能位居世界前列。
纯度再高一些 杂质再少一点
在中船特气的生产车间里，多种设备排列，管道纵横交错，联结成网，高质量的电子特气正在源源不断地生产，经过纯化之后，充装进瓶。
“集成电路制造涉及几百道工序，工艺极其复杂，很多环节不能暴露在空气中，需要搭配使用特定的电子特气。”中船特气研究院负责人说，三氟化氮的主要作用是清洗、刻蚀，去除晶圆上多余的物质，创建微细的电路图案。六氟化钨能够帮助在晶圆表面成膜，薄膜具有优异的电性能和耐磨性，可为集成电路的各种功能提供保障。
电子特气产品等待发运。河北经济日报记者 刘朋朋 摄
电子特气的质量，在一定程度上决定了集成电路的性能、集成度和成品率。随着我国集成电路、液晶显示等产业的发展，尤其是高端芯片制造需求的增加，对电子特气的纯度和杂质含量提出了越来越高的要求。
“目前我们已经生产出99.9999%（6N）纯度的电子特气。”中船特气研究院负责人表示，电子特气的纯度和净度非常重要，一旦不达标，轻则使得下游产品质量不过关，重则扩散污染，使整条产品线报废。
向“智”升级 全流程质量把控
如果说纯度是电子特气行业的入场门槛，那么稳定性就是核心竞争力的持续保障。
走进中船特气中控室，长约10米、宽约3米的大屏幕让人很是震撼，厂区生产运营的全貌尽收眼底，监控系统及报警系统等各项设备在远程系统的监控与指挥下有条不紊地运行。
工作人员正在调整设备参数。中船特气供图
“我们通过DCS系统实现工厂运行实时、全程监控。”中船特气研究院负责人表示，不管是纯度还是杂质含量都是硬指标，但还有一些软指标是不可或缺的，质量保障体系尤为重要，充装和运输也是非常重要的环节。
钢瓶的钝化处理就是其中之一，简单来说，钝化是指往钢瓶里充入气体，和钢瓶发生反应，在钢瓶的表面形成一层保护膜。中船特气研究院负责人说，充多少量、放置多长时间，具体是什么参数标准，这个过程都是一点一点摸索出来的。
除此之外，中船特气还引进多种自动化装备，利用信息技术为工业生产赋能。从生产到充装再到运输各个环节，中船特气都建立了质量保证体系，打造电子特气智能化行业标杆。
靠着过硬的产品质量和稳定的质量保障体系，目前中船特气部分产品已进入集成电路3nm 先进制程节点供应链。“朋友圈”覆盖台积电、铠侠、美光、海力士、中芯国际、长江存储、长鑫存储等境内外集成电路代表性企业，京东方、TCL科技、群创光电等显示面板行业著名企业。
国产化替代加速 助力中国“造芯”
随着消费电子市场复苏向好，我国集成电路、显示面板等行业产能不断释放，加之国际形势的纷繁复杂，电子特气国产化进程正在加速。
“集中电路产业中所需的电子特气种类庞大，目前我们的产品品类有70余种，包括高纯三氟化氮、高纯六氟化钨、高纯氯化氢、高纯氟化氢等。”中船特气研究院负责人说，中船特气以此为契机，推进高纯电子特气产业链发展，优化完善产能布局。
在位于邯郸市肥乡区的年产150吨高纯电子气体项目现场，记者看到，项目建设正在进行， “项目投产之后，我们的电子特气产品将更加丰富，进一步满足客户多样化需求。”除此之外，中船特气规划部相关负责人告诉记者，公司还在建设年产170吨高纯电子气体项目。
集成电路、显示面板等下游产业具有技术革新频繁、升级换代快速的特点，对电子特气的品质要求也越来越“苛刻”，并且产生了新产品的需求。这对生产企业来说，需要科技“厚度”的强力支撑。
记者翻看中船特气定期报告时发现，公司近三年累计研发费用投入超过4.4亿元，其中2023年投入超1.6亿元。截至2024年6月30日，中船特气拥有专兼职研发人员169名，其中专职研发人员为109名，高级工程师44人，拥有境内已获得授权的发明专利167项、实用新型专利159项、国际专利3项。
“未来，我们将持续加强科技创新，不断提升电子特气的合成、纯化、分析、充装和绿色环保等技术，丰富产品品类，保障集成电路供应链安全。”中船特气首席技术官说，中船特气致力于实现电子特气空白产品国产化，未来将立足于电子特气行业长远发展，着力推进科技创新工作，加快培育形成新质生产力，打造世界一流企业。
